二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #68580 待售
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ID: 68580
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Anneal vertical furnace, 8"
Specifications:
Wafer size: 8"
4-Cassette load arrangement
Maximum wafer load: 160
2-Boat / single tube system
3-Zone heating element
Anti-static system
Heat deflector option
Pressure control to 2 Torr
MKS 652 pressure controller
Single disk floppy recipe system
Quartzware set
Gas system:
MFC 1: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 2: UNIT 1268A 20slm H2
MFC 3: UNIT 1268A 20slm 10%H2/N2
MFC 4: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 7: PORTER 200slm N2
Power requirements: 208V, 100A
1995 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是为高精度炉需要而设计的扩散炉及配件。该设备是为难以达到耐受性要求严格、尺寸多样的样品而设计的。它是工具和设备制造商的理想工具,他们在制造产品时需要高标准的精度和精确度。SVG VTR 7000设计用于使用单个或多个加热循环来执行广泛的扩散炉过程,如退火、氧化物、氮化和其他相关过程。AVIZA VTR 7000配备了多种功能以提高流程效率。采用不锈钢结构,采用高功率射频感应加热器等先进技术,保证样品的最佳性能和均匀加热。它包括一个先进的自动过程控制器,在过程参数的编程中实现最大的灵活性。它还提供了一个直观的用户界面来轻松调整设置。该系统100%自动化,为各种工艺提供了良好的环境,包括退火、氧化、氮化、溅射沉积等。THERMCO VTR 7000提供宽广的温度范围,高精度为0.1%。它配备了计算机控制的安全装置,包括互锁、防止温度超调和冷却保护,以确保安全和能效。VTR 7000的扩散器硬件采用高级材料设计,具有广泛的扩散功能。它提供卓越的可靠性和性能。通过提供各种尺寸和设计,可以定制扩散器硬件以满足任何应用程序要求。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000提供了一个预定义过程和配方的综合库,用于各种熔炉任务的快速轻松设置。它还允许为最先进和最复杂的应用程序轻松导入附加的进程参数数据。机器可以很容易地集成到客户的生产线中。为了灵活和方便起见,该工具可以配置各种不同的附件。其中包括自动装卸班车、快速循环、多温度和自动门控制器。附件包还包括一系列加热元件、工艺监控资产、电源等。简而言之,SVG VTR 7000是为精确应用而设计的高科技、高效可靠的扩散炉及附件包装。它提供了最大的灵活性、准确的温度、先进的安全性和出色的可自定义性。
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