二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9148935 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种顶级扩散炉及附件封装，其设计旨在增强蚀刻沉积工艺。由于功能广泛，SVG VTR 7000可用于大多数先进的半导体和电子应用。该单元配备了先进的可控系统，可实现亚微米精度、可靠性和工艺优化。这种高度的精度、控制和性能对于现代半导体和电子元件中发现的精密材料是必不可少的。AVIZA VTR 7000以双区供热原理工作，允许更快、更精确的扩散。设备使用两个独立的加热元件均匀分配腔室内的热量。这种双区加热也允许对晶圆或组件的不同区域施加高温，对周围区域几乎没有热量损失或失真。VTR 7000惰性气体流动系统的独特设计，防止材料进入或暴露于活性区，从而防止装置堵塞和污染。这台惰性气流机效率高，可支持金属、多晶硅、玻璃层沉积、薄膜沉积、扩散等广泛的先进半导体和电子应用。THERMCO VTR 7000具有易于使用的控制控制台,允许设置和运行自定义自动化进程。由于能够存储多个程序,因此用户在控制工具时具有最大的灵活性。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000还配有一系列配件，进一步提升性能。这些附件包括SVG真空控制器、加热室、加热元件、气体入口和腔室温度控制器。此外,它还提供高精度的热电偶位置,以实现精确的温度测量和反馈控制。总体而言,SVG VTR 7000是一种可靠且高度先进的扩散炉,旨在为当今先进的半导体和电子应用提供工艺优化和改进性能。其双区供热资产、惰性气流模型以及一系列配件，使其成为要求最苛刻的半导体和电子项目的绝佳选择。