二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9158201 待售

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
已售出
ID: 9158201
晶圆大小: 6"
Vertical furnace, 6".
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是为多种应用而设计的扩散炉。这是一种高温炉,用于方便制造半导体器件、太阳能电池、LED晶体等多种产品。它允许精确控制温度,并具有为各种应用程序配置许多参数的功能。该炉利用石墨加热元件来产生高达2000C的温度。这种高温允许快速有效的扩散和过程。石墨结构提供了额外的耐用性和较长的使用寿命。该炉也可用于低压过程,结果也可以接受。炉子配有几个检修门,方便配置,占地面积最小。SVG VTR 7000还包括高级诊断和手动控制作为快速故障排除和服务的标准功能。标准封装还包括真空泵、温度控制器和特殊的石墨升华管。该炉采用节能设计,有助于降低与运行相关的总体成本。AVIZA VTR 7000有一个自动压力控制系统,有助于确保过程条件不断得到维护和控制。温度调节器是可调的,允许微调工艺温度。炉子里还有各种各样的配件.红外照相机非常适合监测过程各部分的温带程度。红外照相机可以实时监测加热阶段,对于微调过程特别有用。还有几种真空传感器可以帮助精确的温度控制。THERMCO VTR 7000是一种功能强大、可靠的扩散炉,适用于广泛的应用。它具有节能的设计和各种各样的配件,使其成为满足任何制造需求的理想选择。其石墨加热元件提供了快速、高效的工艺,其众多的接入点允许易于配置和小占地面积。高级诊断和手动控制选项提供快速故障排除和服务。
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