二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是为生长薄膜材料而设计的单室水平扩散炉。该扩散炉的最高温度为2500摄氏度,具有快速热处理（RTP）功能,可快速加热和冷却循环。SVG VTR 7000非常适合要求均匀快速加热（URH）和精确快速温度循环的应用。它提供精确控制的热过程序列和压力，具有高度的重复性和重复性。AVIZA VTR 7000由纯钼和不锈钢包覆壁构成。其整体尺寸为10.5 "W x 10.5" L x 9.9 "H，加热区为9.90" W x 9.90 "L x 4.75" H，由不锈钢室底座支撑。它具有从大气到0.7 Torr的额定压力，需要一个208V的单相电源。THERMCO VTR 7000配备了Nooter-Erickson快速热处理设备，其中包括一个快速作用的单连接加热器和基于高速计时器的控制器。加热器的设计目的是在几秒钟内将腔室精确快速加热到设定温度水平，控制器的设计是通过内置程序来优化温度轮廓。该系统还包括2550°C的自动热关闭开关，以防止炉膛和加热器过热。VTR 7000包括带陶瓷泡泡室的铜焊排气单元、不锈钢陶瓷实验室连接和真空密封。排气机允许从室内清除干净的排放物，防止有毒烟雾进入实验室环境。此外，石英视口还提供了对工艺室的观测。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000还具有具有数字显示和数字设定点控制的高精度温度控制器。温度可以很容易地从大气压调整到0.7 Torr，精度为+/-3 °C，可重复性为+/-0.5 °C。还包括0-50 A.F.功率、数字真空读出以及可选的强制空气和氮气净化腔室。采用SVG VTR 7000扩散炉及其附件，使得原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）等工艺比传统生产方法具有更好的精度和控制。它消除了加工室和加热器之间温度的变化，能够生产出精确和可重复的薄膜。这使得它成为生产薄膜材料的可靠且经济实惠的选择。