二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168927 待售

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ID: 9168927
晶圆大小: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6" Process: TEOS (1) Chamber (1) Mainframe EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump Gas manifold box TEOS Transfill Transformer Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一个扩散炉和附件单元,设计用于半导体基板的经济高效的工业级加工。该先进炉采用双用途喷头和专利通量浓度技术,以最佳的热均匀性和低颗粒污染提供精确的过程控制。SVG VTR 7000具有可靠的高温设计,最高温度可达1200 °C。坚固的炉膛采用重型高温绝缘材料建造,以最大限度地提高性能,确保温度保持控制和一致。先进的控制设备提供精确的反馈来调节气体流量、压力和温度,以确保准确的工艺结果。它还具有用于显示参数读数的数字显示,以及用于在发生意外结果时通知用户的警报监视功能。AVIZA VTR 7000包括利用惰性气体优化工艺温度的高效加热系统。优化的设计提高了预编程程序的效率,并减少了设备停机时间。此外,先进的冷却机组减少了热量的积累,消除了频繁调温的需要。VTR 7000还配备了精密气体控制和均匀气体分配的专利气体分配技术。先进的气体控制机允许用户手动调整气体成分,以及根据自己的具体要求设定预定速率。惰性气体供应也与腔室相连,以确保清洁可靠的运行。提供易于操作的触摸界面,以便轻松操作和控制过程。总体而言,THERMCO VTR 7000是一种可靠、经济高效的扩散炉,具有卓越的性能和坚固的特性。利用高品位绝缘材料和先进的气体控制系统,该装置提供均匀的热性能和更高的工艺产量。此外,其直观的触摸屏界面和报警工具为用户提供了有关其工艺状态的最新反馈,使这一单元成为工业扩散应用的理想解决方桉。
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