二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9300429 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9300429
晶圆大小: 6"
Furnaces, 6".
SVTSVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是用于现代材料加工的最先进、高度先进的扩散炉及配件。它是为快速热处理(RTP)的材料,包括硅,砷化氙,金刚石和其他对高温敏感的化合物设计。为了达到准确性、安全性和效率的最高标准,对这一具体设备进行了改进。SVTSVG VTR 7000具有高容量四吨炉膛,最高温度为1000 °C。系统还有两个独立控制的温度区。这提供了精确、一致的温度控制和整个产品表面的均匀加热。Vari-Overhead Rate Control (VORC)技术允许用户以0.1°C的精度改变腔室温度,使其成为开发新材料和产品的理想工具。SVTAVIZA VTR 7000还具有独特的多区传输机制,可确保材料的有效进出,而不会对材料造成任何不必要的压力或撕裂。这种独特的装置也保证了炉内恒定、均匀的温度控制。该机还拥有一个先进的密封真空工具,它允许包括分子层外延(MLE)和原子层沉积(ALD)在内的一系列超高真空压力过程。资产还有一个气体注入模型,以确保从产品中完全清除挥发性气体。除了这些功能外,SVTTHERMCO VTR 7000还配备了多项安全和通信功能。其电炉和温度控制设备旨在监测电流、电位、相位和功率,确保人员和设备的安全。该系统还有一个计数器单元和一个听觉和视觉警报,当温度超过其预定义的安全限制时向工作人员发出警报。总体而言,SVTVTR 7000是一款强大创新的扩散炉及配件机。其高容量四吨炉膛、精密温度控制、UVP兼容性和众多先进安全特性的结合,使其成为先进材料加工研究应用的理想工具。
还没有评论