二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9384781 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种扩散炉及附件系统，可用于多种过程，包括氧化、氮化、重结晶、植入和退火。SVG VTR 7000能够达到高达1200oC的处理温度,并且设计为在惰性或还原气氛中运行。该系统配置有高温电源、选择器阀箱、吹扫箱以及速度和流量可调节的循环鼓风机。AVIZA VTR 7000采用三相电源运行,视应用情况而定,可能需要真空泵来控制大气。该系统具有石墨热区和气流分布器。气流分布器为气体均匀流过热区提供了均匀的溶液，最大限度地降低了较大排气部件的进入速度。热区还设有感应加热线圈，提供快速和外部可调的加热轮廓。VTR 7000还利用可编程逻辑控制器（PLC）和温度控制器在过程中进行一致的温度控制。THERMCO VTR 7000配有各种配件，包括石英管加热器、熔工、石英管、连接法兰、温度探针、真空密封等。这样可以增强功能范围和多功能性。此外,它还具有多种安全功能,可确保安全运行,包括可调节的速度再循环风扇、门互锁开关和紧急停止按钮。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000非常适合需要精确温度控制和大气清洁的应用，例如加工半导体基板，以及其他涉及高温金属和陶瓷基板的应用。SVG VTR 7000专为高效运行而设计，是扩散炉应用的绝佳选择。