二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9398904 待售

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000是一种可靠且用途广泛的扩散炉及附件系统。它经过特殊设计，能够快速准确地将高温和非常薄的介电层沉积到各种各样的自旋均匀层上。这种扩散炉常用于半导体、光伏、LED、LED封装和光学涂层行业。SVG VTR 7000为封闭式通风模块化腔室配置。它提供四个受控环境过程室，每个室可以独立控制每个过程步骤。四室分别是预热室、退火室、扩散室和氮化物室。腔室配置旨在减少对挥发性有机化合物（VOCs）的暴露，并提供安全的工作环境。AVIZA VTR 7000的预热室设计用于预氧化和扩散，温度范围为350-800°C （662-1472°F）。该室用于在任何工艺步骤之前为表面准备和预处理提供必要的环境。在这个室内，基板在整个区域内迅速均匀地加热。退火室设计用于热退火和表面氧化，温度范围为350-900°C （662-1662°F）。此腔室用于设置晶圆的温度并启动后续过程。该室还实现了更好的氧化均匀性和更高的氧化应力稳定性。扩散室设计用于漂移氧化和扩散，温度范围为400-980°C（752-1796 °F）。这个腔室创造了一个低压梯度环境，利用惰性气体和惰性气体组合沉积介电层。它还为漂移氧化和掺杂物质扩散到硅层创造了必要的环境。氮化物室设计用于氮化物退火和表面保护，温度范围为400-950°C（752-1742 °F）。该腔室进行漂移后氧化氮化物退火，保护表面不受进一步氧化。THERMCO VTR 7000每小时提供高达1400个基材的总吞吐量,在4英寸晶圆上薄膜厚度均匀度± 2%（1 σ单偏差）,并且能够沉积非常薄的层（低于25海米）。该系统还配备了自动晶圆传输盘、快速冷却功能、自动电阻测量以及连接PC进行数据记录的能力。这种可靠、经济高效、高性能的扩散炉及配件系统是任何现代加工环境所必需的。VTR 7000具有严格的过程控制和总吞吐量功能,是各种应用程序的出色扩散设备。