二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7107 TOX #26400 待售
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ID: 26400
晶圆大小: 6" 8"
Vertical Furnaces, Wet / Dry Oxide, 6", can be configured to 8" capability
Gas system can be configured
As is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOX是一种高性能、节能的扩散炉,具有卓越的设备效率和一系列专用扩散应用的附件。该设备为单个组件或多个组件的扩散提供了两种不同的技术选择,并包括一个先进的、由计算机控制的过程控制系统。SVG VTR 7107 TOX由坚固的高级材料打造而成,包括不锈钢和陶瓷基元件,提供出色的耐热冲击能力。它有一个扩展的双区加热室,温度控制高达1,077 °C,同时还利用空气对气体的再燃烧来确保有效和均匀的热分布。该装置还具有独立或连体的大气、可移动面板和集成的清除开关,以提供高效和安全的处理。作为一个附加组件,AVIZA VTR 7107 TOX配备了一个高效的热管理单元,旨在将能耗降低30%。其高性能涡轮风扇能够调节精确的温度控制,能够独立于工作温度而保持工艺温度。该装置还配有可调节的支撑机和气体喷嘴,以便更好地定位零件,并在腔室内形成均匀的大气压。VTR 7107 TOX提供的扩散功能通过大量附件列表得到进一步增强。其中包括旨在将热量均匀地分布在扩散室周围的石墨敏感器,提供有效加热和冷却的冷壁衬里,以及有助于保持清洁和健康气氛的电离器和臭氧发生器。THERMCO VTR 7107 TOX是需要精确、节能和灵活工具的广泛扩散应用的理想选择。它的顶级供暖和扩散能力提供所需的质量,以确保可靠和可重复的结果。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOX凭借其持久的组件、先进的可控工艺以及令人印象深刻的配件选择,是各种扩散应用的理想选择。
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