二手 SVG / THERMCO / AVIZA VTR #9278764 待售

SVG / THERMCO / AVIZA VTR
ID: 9278764
晶圆大小: 6"
Furnaces, 6" 1997-2006 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR是一种扩散炉及其配件,从单门设备到三门设备不等。该系统为各种材料提供快速、高效的热处理,从单晶硅晶片等单个基板,到基板或3D对象等较大框架。SVG VTR的核心部件是一个具有左右加载的无熔炉、高分辨率触摸屏控制器和高精度温度控制程序。该单元具有一个交互式图形,显示正在使用的时间温度程序,并且可以在其内存中存储多达99个程序。它还配备了电子数据记录器,用于监测和记录熔炉的运行情况。AVIZA VTR提供了可靠和快速的加热循环,在严密监控的环境中创建了均匀的温度剖面。机器的最高温度在空气大气中为1600°C,在氮化物大气中为2400°C。多区温控以其双区温控端口进行数字化设置,精确监控温度剖面,消除了温度梯度。为确保高质量的热处理,THERMCO VTR工具具有集成的再循环资产,在炉膛内保持均匀的温度和均匀的气氛。此外,该型号还配备了用于冷却的高性能径向风扇,可确保严格控制温度轮廓并缩短冷却时间。此外,为了保证用户的安全和工艺的精确度,VTR配备了自动调平功能和两个强大的升降筒,以保持基板平台水平。此外,SVG/THERMCO/AVIZA VTR凭借其排气泄漏检测技术、高压关闭开关和先进的电力防护设备,与其他系统区别开来。SVG VTR系统是提高热处理效率和精度的终极解决方桉。AVIZA VTR简化了安装过程,提供了更高的运行可靠性,并通过其高效的监控功能优化了热过程质量。THERMCO VTR具有精确度和精确度,是材料热处理的最佳选择。
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