二手 SVG / THERMCO Ranger 3000 #9256561 待售

SVG/THERMCO Ranger 3000是一种适合晶圆和模具级半导体加工应用的扩散炉及附件封装。SVG Ranger 3000是两家领先的微波设备制造商合资的结果,它提供了广泛的功能和优势,以支持当代应用研究、材料加工和产品原型设计要求。THERMCO Ranger 3000是一种先进设计的连续流扩散炉，具有极好的均匀性和经济的沉积速率。这种可控扩散炉的设计目的是在一个扩展的过程温度范围内提供精确的物理气相沉积特性。该设计包含一系列高级功能,如直接驱动电机和双温度控制区,以确保最佳的扩散性能。热电偶监测和闭环控制选项允许从炉膛直接反馈，提高沉积和退火应用的精度和准确性。这种高精度的设计还有助于降低热波动风险，确保可重复的晶圆级结果。游侠3000还具有宽动态温度范围（600°-1200 °C），精度为0.1°C，多种气源和气体溷合性，以及宽带隙动态流量平均技术，允许均匀的原位轴向温度剖面。SVG/THERMCO Ranger 3000包括一系列配件，包括石英火炬、样品篮、支架、支撑杆和可靠的射频阻抗匹配系统。石英火炬与扩散源相结合，以精确沉积均匀的沉积层，而辅助部件设计为高效加工和放置晶片进行沉积。随附的射频阻抗匹配系统在各种沉积过程中表现出色，为晶圆和模级基板提供了高效、准确的辨别。总而言之，SVG Ranger 3000是一种先进设计的连续流扩散炉和附件包装，非常适合广泛的研究、材料加工和产品原型设计应用。精确的物理气相沉积特性，出色的均匀性，精确的温度控制，以及一系列的配件，使得这套系统成为一个可靠、经济实惠的解决许多当代半导体需求的方桉。