二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #101184 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是半导体製造用的扩散炉及附带配件。这种先进的自动化工具旨在改进半导体蚀刻工艺，并用于世界各地的研究和生产设施。TEL ALPHA-303I具有通过精确控制快速加热和冷却的能力。它还具有快速气体流量、温度和压力变化的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I由扩散炉、旋转和线性运动的旋转驱动器、定向锁和具有用户界面的控制器组成。扩散炉由多个加热区和一个温度/冷却单元组成。温度/冷却单元是一种数控热环境，用于精确控制炉子及其部件的温度。方向锁可消除机械松动,并可提供更稳定的深轮廓蚀刻。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I还有一个带有用户界面的控制器。此界面允许用户输入参数并监视设备的进度。例如，用户可以在蚀刻过程之前、之中、之后监控温度、压力、气体流量等参数。此外,控制器还具有内置的安全功能,可确保设备以稳定、可重复和可重复的方式运行。为了确保平滑的动态性能,TEL ALPHA 303 I还具有许多功能。这些特点包括用于快速加热和冷却的穿梭系统、用于快速温度变化的氦气辅助能力、用于均匀加工基材的先进再循环系统以及便于氮气流动的液氮枪。这种先进的扩散炉设计用于研究和生产设施中的高端设备。凭借增强的安全特性和先进的控制系统，ALPHA-303I是改进蚀刻工艺的有力工具。该工具适用于广泛的应用，是提高生产精度和速度的理想选择。