二手 TEL / TOKYO ELECTRON 615 #293645002 待售

ID: 293645002
晶圆大小: 6"
System, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 615是一种可靠、高品质的扩散炉及配件,用于多种不同的行业。该设备具有较高的真空炉室以及集成的主控制系统和远程监控能力。腔室最多可容纳3个可独立配置的外壳,每个外壳具有一组单独的气体、温度和环境。主控制单元设计用于精确监测和控制所有相关参数,确保炉运行在峰值性能。密闭室设计用于有效管理扩散过程中使用的热和化学反应物。采用高品位不锈钢制成,具有优异的耐腐蚀性.该腔室还包括一个陶瓷纤维腔室壁,使封闭腔室能够均匀加热。此外,该炉还包括一个孤立的真空和惰性气体系统,在扩散过程中引入气态反应物时提供了最佳的灵活性。TEL 615还配备了多种集成配件,包括工艺控制器、热电偶、直流继电器和电源。过程控制器设计用于在扩散过程中监视、控制和调整过程参数。热电偶提供室内温度的精确读数,有助于保持最佳烹饪环境。直流继电器和电源被用来使腔室节能加热。总之,TOKYO ELECTRON 615是一种可靠、柔性的扩散炉及配件,可用于多种行业。高真空室和集成附件确保了均匀和精确的扩散过程,降低了与该过程中使用的温度和气体相关的能源成本。计算机还提供远程监控,使用户可以随时保持控制。
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