二手 TEL / TOKYO ELECTRON 803 #9254675 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 803是一种单晶圆扩散炉及相关配件。它利用圆柱形的空腔，其中晶圆放置在底部内部和加热使用底部边缘冷却炉膛设计。高温单晶片扩散炉容量高达1150°C，均匀度± 3°C，是半导体工业氧化扩散过程的理想选择。该炉具有易于操作的PLC（可编程逻辑控制器）,具有自动O2流量测量和控制装置以及真空密封附件,用于快速热过程启动和端点检测。该炉还有一个Mobile-ENDIS热屏障，这种装置通过在过程操作过程中保持热屏障的均匀性来帮助减少能量浪费。用户友好的图形用户界面（GUI）允许轻松设置工艺温度和气流。可编程逻辑控制器可确保对过程参数的精确控制。TEL 803设有对流系统，旨在透过炉内循环空气，减少能量消耗，最大限度减少湍流和热量流失。TOKYO ELECTRON 803还具有一个VCR-40测量端口,可确保操作过程的均匀性,以及用于晶圆容纳和手动加热速率调整的冷却板组件。VCR-40口能够监测炉温的均匀性和工艺气体中掺杂剂的化学浓度。它还允许对数据记录进行详细分析。803还具有远程流程监控系统以及基于PC的软件,用于处理和展示使用数据和流程信息。远程流程监控系统允许在没有人工干预的情况下对所有操作参数进行连续监控。TEL/TOKYO ELECTRON 803还附带了先进的温度控制、Oxidation Armor技术、易于进入的检查窗口以及工艺气体诊断等多项附加功能。所有这些特性结合在一起，产生了一个高效、用户友好的扩散炉，旨在满足现代半导体工业的需求。