二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN #9381808 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN
ID: 9381808
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: VOS-56-003 Gas: NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN是一种用于制造高质量、集成电路元件的扩散炉及附件。在日本设计制造,TEL A303I-KVCKN是一个强大而高效的扩散处理系统.TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN由四个主要组成部分组成:一个可以达到1150°C温度的垂直炉、一个石英管状蒸发器、一个垂直磁化器以及一系列的撇渣器和浓缩器工具。垂直炉用于创造加热环境,有助于确保温度和过程控制均匀。石英管状蒸发器蒸发源材料,然后由垂直敏感器控制,可以倾斜调节整个过程中材料的浓度。撇渣器和集中器工具协同工作,确保材料的精确分布,以优化表面均匀性,并坚持所需的电性能。A303I-KVCKN可用于各种应用,包括生产用于光伏的高密度、薄膜层、电子设备制造和集成内存组件。它使晶片制造具有成本效益,可用于平面和沟槽隔离、退火、热氧化、氮化物掺杂和扩散等短期过程。此外,TEL/TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN与一系列材料兼容,包括高纯度二氧化硅和硅。除了强大高效的性能外,TEL A303I-KVCKN还具有多项功能,可确保最佳的过程控制和安全性。它配备了一个5轴可移动的机械手,用于精确的晶圆运动,以及高度精确的温度控制。此外,TOKYO ELECTRON A303I-KVCKN设计具有出色的辐射屏蔽,防止材料泄漏和防止辐射暴露。A303I-KVCKN是优质集成电路元件生产过程中理想的扩散炉及配件。它提供高性能、精确度和安全性,以确保最佳的过程控制。
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