二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630204 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种高度专业化的扩散炉及附件，旨在为涉及高性能薄膜扩散的工艺提供广泛的应用和解决方桉。通过使用一个三区大气室，使其具有更好的加热均匀性和最佳的传热特性，使其能力成为可能。这种扩散炉非常适合先进的差分外延工艺研究，薄膜装置的产量提高，以及生产优越的超纯工艺。TEL A303i具有直观的用户友好图形界面,可以对其进行定制,以确保以最高精度执行每个过程。TOKYO ELECTRON A 303 I配备先进的四波平行可伸缩线圈，为优越的氧化物型材提供均匀的热分布。此外,还采用超高速技术提供高速热处理,每秒可达到6500 °C的温度。这样可以加快流程周转时间,同时仍能获得最佳流程结果。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I也可以扩展用于更复杂的应用，如晶圆嵌入、反应性离子蚀刻、植入。此外,它令人印象深刻的功能还得到了先进的访问控制系统的补充,该系统使用加密存储来保持文档的私密性和安全性。303 I也是为了坚持严格的安全标准而设计的。高质量的材料用于与所用材料直接接触的部件，以及经受极端温度和高真空的部件。这保证了TOKYO ELECTRON A303i安全运行，符合最高质量标准。TEL A 303 I的总体设计改进了过程控制,同时提供了灵活性和高级功能。它的用户友好界面为扩散炉操作提供了一种高效、安全的方法，使其成为产生一流效果的最佳选择之一。