二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是为氧化、退火、扩散和高分辨率金属化等低温过程而设计的扩散炉设备。该系统采用炉膛，设计用于提供均匀的温度分布，控制单元用于调节热量输入，阻燃单元用于限制燃烧排放。这个扩散炉的温度范围高达1250 °C，最大负荷为4.5kg。它是一种先进的易于操作和维护的扩散炉。它包括安全防护罩和定期维护的自动清洁模式。TEL A303i的控制机提供了精确控制温度、时间、大气和加热元件响应的能力。它还提供了允许精确测量和数据记录的流程监控功能。这种扩散炉工具也被设计成提供各种各样的气体和真空监测选项，允许最佳的过程控制。除了其先进的特性外，TOKYO ELECTRON A 303 I扩散炉还配备了广泛的配件。这些附件包括最多15种晶片的晶片载体、气动材料装载资产、自动防护罩和一整套安全设备。TEL A 303 I扩散炉还设计了具有高速晶圆传输和预编程过程循环等特点的最佳生产率。炉盖采用三层绝缘设计，提供了最佳的温度控制和节能设计。总体而言，A303i是为精确的过程控制、安全和能效而设计的高性能扩散炉模型。其最先进的技术使其成为寻求以精确和高效的方式执行低温过程的企业的理想选择。