二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种扩散炉及配件，旨在满足当今集成电路（IC）制造工艺的需要。它在极低温度下提供高质量的沉积，具有极好的均匀性。TEL A303i采用精心设计的低热质量（LTM）设计,可缩短热循环时间。扩散过程由一个计算机化的过程控制器控制，该控制器指导和监测过程的所有功能，从温度设置到工艺配方。专门的TOKYO ELECTRON A 303 I扩散器熔炉是以低热质量的设计来构造，以最大限度的热均匀度跨越基板。这种crucible允许温度高达1090摄氏度，同时最大压力高达80托。此外，crucible还具有一对水平对置的石英灯，可实现脉冲氮负荷（PNL）传输系统。PNL确保反应室的精确定位，防止反应干扰。此外,TEL A 303 I配备了多种配件,确保了最佳的过程控制和性能。其中包括LoadLOCK端口隔离模块，它提供了一种安全、可靠的方式将底物装载到反应室中，而不必担心旋转腔室。杂质气体和其他反应性气体的引入由原子层输送（ALD）系统处理，该系统可编程为提供精确控制的原子层气体用于沉积过程。为了实时监控流程参数,A 303 I配备了高级数据采集系统（DAS）控制器,可实现可靠的实时反馈和多达16个参数的记录。这包括气压、基板温度、腔室温度等隐藏参数。TOKYO ELECTRON A303i专有的真空超精细控制（IVAP）体验在设置过程时提供了极致的精确度和准确性。通过最多可设置六个参数,IVAP允许用户实时监视和调整其流程。总之，A303i是一个先进的扩散炉和配件，提供无与伦比的精度和精确度。以其低热质量设计、PNL传输系统、精确控制系统，是IC晶圆厂实验室寻找卓越性能的完美工具。