二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801901 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是为方便半导体晶片的高效加工而设计的扩散炉及配件。它设有高温大面积加工室，温度可达1150 °C。该腔室的设计侧重于均匀的温度分布，允许一次对多个晶片进行精确高效的处理。配备先进的数字控制设备和用户友好的操作员界面，便于设置和操作。真空系统提供了最小的压力梯度和允许更长的过程时间与较少的热降解晶片。它具有压力控制、温度稳定和远程访问等高级功能。冷却器是内置的，以尽量减少冷却剂损失和防止扩散过程中过热。TEL A303i还包括全面的流程监控能力，如气流和温度剖面，可用于维持最佳条件，以获得完整和准确的扩散结果。此外,该设备还配备了石墨敏感器,以实现可靠的可重复工艺结果。它还支持最多四个工艺模块和1150°C的最高工艺温度。安全方面，TOKYO ELECTRON A 303 I完全认证符合UL标准和UL 508C要求。配备联锁机和过温防护机构，确保操作员安全。该工具设计用于最小程度的维护,并且所有组件都可以以最小的工作量拆卸和重新组装。它还配备了电涌保护装置，以防止发生停电时损坏。总体而言，A303i是一种可靠且功能丰富的扩散炉和附件，设计用于半导体晶片的高效和精确处理。它具有气流和温度剖面、压力控制、温度稳定、远程访问和电涌保护等高级功能,可实现最佳和可重复的工艺效果。它还获得了UL认证，并配备了先进的安全功能，使其成为要求苛刻的半导体制造的经济高效的解决方桉。