二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293807098 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是用于制造半导体器件的扩散炉及其相关配件。它是专门为以可靠和可重复的方式提供清洁、均匀的扩散过程而设计的。TEL A303i可以将晶片加热到1150˚C的温度,并且能够处理直径不超过8英寸的晶片。TOKYO ELECTRON A 303 I利用集成的单晶石墨热区和共晶液态合金技术，在热区内提供极好的均匀温度分布。独特的"超速"盘旋转设备确保腔内温度均匀，减少石墨侵蚀。它还有一个集成的"脉冲"气体输送系统，可用于精确的气流控制。该装置还配备了车载真空机，以提高工艺精度和可重复性。扩散炉配有先进的计算机接口，可以精确控制过程变量。此计算机界面包括流程监控和数据记录功能，使用户能够轻松跟踪每个处理步骤的进度。该工具还通过使用高级传感器和热电偶提供实时反馈。为了提高安全性,TEL A 303 I还配备了紧急停止按钮、过热保护资产和紧急检查阀。这些功能共同确保在发生紧急情况时自动关闭模型。除了这些功能外，A 303 I还配备了许多有用的配件。其中包括一个额外的石墨热区、一个装载站和一个灭火站。这些附件为加工绝缘子硅（MOI）晶片以及晶片测试和分析提供了更多的选择。TOKYO ELECTRON A303i提供的高级特性和配件相结合，使其成为一系列半导体制造工艺的理想选择，如光学传感器和IC封装产品的单细胞晶体管的自动集成。它是可靠和可重复生产光电二极管、CCD和其他IC的重要工具。