二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9235193
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" Process: DIFF 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是用于集成电路制造的先进扩散炉设备。该系统由扩散炉室和相关加工设备两部分组成。扩散炉室设计为空气密封和真空密封,温度可达1550摄氏度。该机配备了特殊的大气控制机,以维持所需的处理大气层。该腔室由两个不锈钢、钛或的壳制成。腔室内部镀有陶瓷涂层。这种涂层含有碳化钛纳米膜,设计用于防止加工过程中的氧化。腔室还配有石英窗,允许传输用于监控加工进度的光。扩散炉工具还包括一些允许进一步加工的配件。这些配件包括伸展臂、百叶窗、探针组件、边缘密封板、刮下的树脂和加热元件。探头组件允许对内室进行精确的树脂操作和应用。一条惰性气体供应线作为附加安全措施连接到腔室。边缘密封板附着在腔室开口上,旨在减少来自外部来源的污染。刮下的树脂用于减少粘附在腔壁上的材料造成的污染。加热元件用于均匀加热腔室,保持一致的加工环境。TEL A303i是一种非常可靠且易于使用的扩散炉资产.它是为制造先进的集成电路和其他专门的微电子元件而设计的。这是一个强大的模型,设计了一个长使用寿命和低维护要求。
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