二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242096 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9242096
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Vertical diffusion furnaces, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种垂直型、轨道质量辅助垂直流、单晶圆、扩散炉及苛刻产品的附件。该装置具有独特的形状,水平电加热器配置,提供精确的局部加热和冷却特性。设计为提供高温扩散的低温退火。TEL A303i为半导体器件制造的苛刻应用提供了有吸引力的性能配置文件。该设备可靠的垂直流退火能力非常适合制造设备所需的精密图桉层。该设备还提供宽广的温度控制过程窗口。其热均匀性控制精度能够在整个加热和冷却过程中进行精确监测和调整。TOKYO ELECTRON A 303 I包括大型、高度光谱分级、双壳石英管、磁悬浮电动机和确保均匀热分布的氮化物壁石墨衬里等组件。它具有低调的设计,可确保安全访问。TOKYO ELECTRON A303i的独特之处在于它在同一装置内提供扩散和退火能力。该设备包括显示器、控制器和用于温度和过程控制的软件包。显示器可以调用数据并在液晶屏上绘制每个进程的性能图表。控制器光学访问初级交流发电机和热炉的输入参数和工作条件。该控制器还用于监测热退火过程,并为适当优化的结果提供参数。TEL A 303 I包含高科技、操作和安全指南,可帮助优化操作。该设备在任何所需温度下均能提供均匀的加热和冷却性能,以确保产品的一致性。用户还可以访问用户手册中的提示和技巧以及核对清单。该装置经认证符合严格的安全准则,被高度认为是现有最可靠和最高效的扩散炉之一。
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