二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9270888 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种强大的扩散炉，具有许多不同的特性和配件。专门设计用于复合半导体材料和薄膜的生长等高温和超高温过程。该炉设有陶瓷真空室、专利温度控制机构和高效加热设备。温度控制机制的作用是确保处理后的温度上升和下降时的均匀性。加热系统能够运作至2000 °C，使用石英室管，有两根石英棒和两个加热器。炉子有一个综合控制单元，管理室内的温度和气氛。这种控制机器提供对多区域供暖和制冷的精确控制，并允许在整个过程中对温度进行编程和精确维护。它还具有冷却压力控制功能,可减少氧化并保持刀具温度稳定。TEL A303i带有几个可选附件,以确保获得最佳效果。其中之一就是Load-Lock&Wafer Transfer Asset，它经过专门设计，可以快速准确地将晶圆和基板从load-lock室转移到炉膛中，反之亦然。它还包括一个热解石墨电池，确保氧化保持在最低限度。TOKYO ELECTRON A 303 I也有可选的"热区"炉。该热区用于确保尽可能高的加工温度和防止样品污染。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是市场上最先进的扩散炉之一，为用户提供了包括出色的温度均匀性、易于使用的控制模式和出色的晶圆处理能力在内的全方位功能。这是一个优秀的工具，对于那些寻求精确的温度控制，可靠性和优异的性能在他们的扩散炉。