二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271013 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是专为半导体研究制造而设计的强大扩散炉。这种工具有助于掺杂剂扩散到基材中，从而产生复杂的半导体器件。TEL A303i具有五个垂直区域和一个公共上部区域。所有五个区域在温度和大气中都是独立控制的。TOKYO ELECTRON A 303 I在氧化和还原大气层以及惰性气体环境中都能达到高达1400 °C的温度。此外，该腔室可以在高纯度氢气和氯基大气中运行。A303i配备了最新的PAM-2000控制系统、先进的传感器阵列以及用于监测和维护最佳晶圆处理条件的仪器。它还提供了一个用户可控的盖子。这种灵活的盖子使用户能够通过玻璃门调整开口数量或进入晶片。强大的TOKYO ELECTRON A303i还具有可调节的电池板间距、大型碳化硅底顶电池板、时尚的盒式磁带托架、自动晶圆传输端口、步进电机驱动系统等等。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I扩散炉为寻求精密半导体器件生产的用户提供了最大的工艺控制和灵活性。凭借其创新的特点和先进的技术，A 303 I是广泛半导体应用的绝佳选择。