二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271021 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是为半导体生产而设计的扩散炉及配件。这种特殊的扩散炉配备了全自动大气水平、温度、输出和强度控制器以及可调蒸发源等先进技术，创造出极为均匀的热环境。此外，TEL A303i允许在生产过程中同时进行不同基板的热氧化、退火和扩散。TOKYO ELECTRON A 303 I具有由其石英管炉室所启用的高温能力，能够达到高达1100 °C（2012 °F）的温度。该炉采用TEL独特、节能的辐射加热技术，既高效又有助于减少温室气体排放。它还配备了温度稳定器设备，在较长的生产周期内保持工艺稳定性。此外，它还配备了晶片支架放置传感器，该传感器与排气系统配合工作，以确保腔室的温度保持均匀。TEL A 303 I的先进功能也使它能够精确控制气流和溷合物。除了控制气流和溷合物外，炉子还设有各种接口端口，用于外部测量压力、流量和温度。这些端口还可以集成各种其他设备,例如用于记录生产数据的PC。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I通过了无数次安全和人体工程学测试，以确保该装置即使在长时间的操作下也是用户友好的。此外，A 303 I操作所涉及的每一个过程都由高度精确的自感单元进行双重检查和监控。根据使用目的,A303i有一系列可选部件,使用户能够自定义设备以最好地满足其需求。可以关闭的组件包括石英容器、激发机组件、排气工具、冷却风扇以及远程监视器和控制器。这些特性使得TOKYO ELECTRON A303i市场上最先进的扩散炉。它为用户提供了最佳半导体生产所需的最精确、最统一的条件。