二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9271255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种扩散炉及其配套配件，为改进半导体产品加工而开发。这种扩散炉的最大温度为1300 ℃，设计用于氧化和扩散等高速度热过程。炉子装有能检测异常温度状态的传感器，允许精确控制内部温度。它还具有一个标准的晶片盒式插座，以及一个盒式装卸设备，方便晶片操作。此外，该炉还拥有一套可处理少量晶圆的自动盒式装载系统。该单元通过更快地移动晶片并缩短加热和冷却所需的时间来提高晶片到晶片的均匀性。炉内采用石英玻璃，由于提高了透明度，使得晶片的充放电效率更高。该室还配备了LED照明机，使得在炉内各处寻找物品的过程顺畅。TEL A303i具有很强的适应性，可应用于各种热处理（退火、氧化等），也能处理大批量生产。这种炉是为了极致的稳定性和可靠性而设计的，有一个自动重新启动的机制，可以让工具在发生电力故障的情况下再次运转，以及一个可选的内部气体注入资产（GIS），可以在必要时用来引入惰性气体。TOKYO ELECTRON A 303 I是任何半导体产品加工的重要组成部分，提供一致、可靠、安全的热处理解决方桉。A 303 I具有从传感器到自动重新启动机构的各种功能,是任何工艺工程师的理想选择。