二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311191 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是专门为生产半导体而设计的扩散炉及配件。它是一种垂直型扩散炉，其腔室呈圆柱形，安装在刚性框架上。炉膛采用特殊等级的不锈钢制成，设计能够承受扩散过程中使用的高温和压力。TEL A303i可以执行多种扩散过程，如低压、高压和快速热处理。该炉采用带触摸板显示屏的面板控制，操作方便，包含多种安全功能，包括紧急停止系统和自动气体关闭系统。TOKYO ELECTRON A 303 I可以处理多种晶圆，晶圆尺寸范围为2至6英寸。该炉设计为支持1,100 °C的最高温度，每批最多可容纳50个晶圆。它还能够一次加热和冷却多个晶片，这样就可以单批处理。A 303 I还配有车载供气调节器，便于调节炉内气压。炉子还配有许多配件，如石英衬里、晶片支架、真空泵以及工艺扩散所需的其他物品。所有这些配件都是为了延长炉子的寿命和提高炉子的效率而设计的。为了进行预防性维护，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I包含了一些自我诊断功能和监测器，可用于检测炉子的潜在问题。这些自我诊断测试的结果可以用来表明需要修理或重新校准炉子。总体而言，TEL A 303 I是一种可靠、用户友好的扩散炉，设计符合半导体生产标准。它具有先进的安全特性，并配有多种配件，使扩散过程更加容易和高效。