二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9311324 待售

TEKTEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种基于热控环境和先进材料处理的高精度热辅助工艺设计的扩散炉设备。扩散炉本身由两个隔室组成，内部是热区，外部是气区。为了安全起见，将热区保持在均匀温度下，并隔离气区。炉外采用高品位不锈钢制成，可用可燃绝缘材料绝缘。温度控制是通过强制空气和辐射加热器的组合来实现的。另外，还可以连接一个导热室进行小规模操作。该系统提供各种附件以增强性能和功能。气体管理单元控制气体被送入炉子的速率，从而能够精确控制流量和数量。物料处理机提供精确的物料转移进出处理室。可调进料器将材料从进料带送入处理。对于复杂的装载要求，可以将几个堆栈和自动输送机组合在一起，形成一个灵活的物料处理单元。熔炉中的数据记录和分析是通过各种温度传感器完成的。该工具配有图形用户界面，能够显示详细的流程数据。数据以实时图表和图表的形式记录和显示。可以通过以太网端口远程监视和控制整个资产。此外，该模型还设有一个预处理和后处理站，以便在处理过程之前和之后对材料进行质量控制。后处理功能包括蚀刻、检验和样品储存。该设备旨在最大程度地减少停机时间,从而实现快速高效的物料处理。TEKTEL A303i是一种环保、可靠且经济高效的精确热处理解决方桉。它提供了在许多高级材料处理中实现卓越精度、质量控制和性能的工具。