二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种高性能、多功能的扩散炉及其配件。它是为满足先进半导体工艺技术应用的需要而设计的。它提供精确的温度控制，过热保护，前后热分布均匀。其先进的温度均匀性控制技术保证了晶片基板温度的精确分析.该炉采用非常大的炉体积，足以处理大批量晶片加工。它还包括一个车载监控设备，使用户能够实时监控流程状态。使用此监控系统还可以帮助用户做出更好的决策,提高生产效率和吞吐量。TEL A303i设计灵活,可轻松与现有流程工具集成。它还具有一个高级单元,可以执行各种配置。它能够支持大型晶片工艺，规模可达2,400mm。该炉可进行调整和配置，使温度精度达到0.1°C，可重复温度控制。TOKYO ELECTRON A 303 I的设计保证了温度曲线的重复性和高精度。它是由高质量的材料构成的，具有超高温运行的集成石英反应器和最佳体积的大反应室。此外，它还包括在晶圆上进行统一对准的自动化晶圆加载和转移臂。它还具有安全、耐腐蚀的不锈钢外观,可确保在广泛的工作温度范围内耐用。此外,该炉的设计,对环境的热量损失最小,绝缘性能极佳.反应室内部装有加热气体，以保持晶圆材料内部和下方的精度温度。TEL A 303 I还具有广泛的安全功能,提供高水平的安全性。这些功能包括用于立即关闭的紧急停止按钮、用于防止过程故障的过热传感器,以及用于向周围环境释放最小热量的密封隔热芯。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I配备了防止晶片掉入反应室的故障安全障碍物检测机。它还与广泛的自动化和过程控制配件兼容。总而言之，A 303 I是一种多功能扩散炉及其附件，旨在为先进的半导体应用提供精确的温度控制、过热保护和均匀的热分布。其先进的温度均匀性控制技术和广泛的安全特性使其成为行业要求苛刻的理想选择。