二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315049 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9315049
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Vertical diffusion furnace, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种高温扩散炉,配有一系列配件,使用户能够生产出具有优异电性能的结构。TEL A303i非常适合制造高性能设备。其先进的设计可以实现卓越的温度均匀性。TOKYO ELECTRON A 303 I拥有高达1800°C的最高温度,并具有独立的熔杆构造和动作类型的大气系统。该扩散炉包括一个气体供应面板,以减少冷却时间。它有两个PENN- STYLE™炉,装载能力高达235毫米(9.25英寸)。精确的温度控制确保了可重复和最佳的结果。303 I具有多种配件,可提高用户的效率和生产力。前体喂养系统可用于供应有机或无机粉作为前体。可以连接快速热氧化剂(RTox)模块,以实现高面积吞吐量和高质量氧化膜的生产。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I还包括一个可编程电子控制器(PEC),以确保可靠的可重复设备处理。它具有易于使用的触摸屏和集成的nichrome条带控制,以实现均匀的温度分布。PEC还包括反馈控制,允许最多30个程序作为配方存储。此外,A303i还包括确保最大正常运行时间的高级诊断功能。它具有板载质量流控制器(MFC),提供准确稳定的气流和热耦合预热功能,以最大程度地减少冷却时间。该炉还配备了紧急关闭阀和集成的安全互锁系统。TEL A 303 I提供精确的温度控制和高级功能,帮助用户简化生产并快速达到最高产量。凭借其广泛的配件,TOKYO ELECTRON A303i可以定制以满足多种应用。
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