二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9315050 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种用于晶圆加工的高性能扩散炉及相关配件。它是用于半导体生产环境的可靠、易于使用和持久的工具。TEL A303i是一种用于热过程控制的高温多区炉。它为各种基材和材料提供精确和可重复的热处理条件。TOKYO ELECTRON A 303 I的最高温度为1200 °C，范围可达20°C至1200 °C。它还具有± 2°C的均匀性和± 0.1°C的稳定性。它利用先进的先进控制系统，专门为晶圆在短时间内的温度映射而设计。303 I能够提供有关晶片温度的动态信息，这反过来又可以用来防止晶片扭曲或轮廓不均匀的热处理。TOKYO ELECTRON A303i还配备了石墨敏感器衬里，以改善散热和更好的温度监测。敏感器衬里还有助于保持晶圆生产过程中的清洁处理环境。除了高品质的热处理外，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I还为用户提供了多种工艺气体控制系统。它能够实现范围广泛的工艺气体溷合比率，从50/50到99/1的几种气体，并为优化晶片质量提供了很大的灵活性。它还通过在线气体流量计提供精确的过程控制。A303i具有加热速率、温度分布、工艺配方等多种工艺参数,可进行编程以满足个别工艺要求并提高设备性能。它包含各种安全选项，包括温度传感器和过流保护措施。所有这些都使TEL A 303 I成为一个高效、准确、安全的热处理系统。凭借其先进的技术和顶尖的特点，它为晶圆生产提供了无与伦比的性能。