二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351448 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9351448
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Vertical diffusion furnace,12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i扩散炉是一种先进的设备,旨在使材料和部件扩散到基板和其他物体上。这种先进的设备具有许多可编程和可定制的选项,用于管理大型项目。它还具有多个附件,可启用添加的功能。TEL A303i是一种三室垂直直至设计与侧壁和顶壁炉元素。这种组合允许过程中最多使用六个基板支架。该系统非常适合用于生产大型元件和材料,因为它能够扩散硅、铝和金属等各种材料。该设备的电源具有六个绕组的绕组部分和数模转换的变压器部分。这样可以精确控制功率输出和温度调节。该机还提供多种扩散操作:单通、多通、多循环和双通。该工具的自动化功能还允许精确控制扩散的速度和温度,以及对热过程的精确控制。资产提供了一个精确的控制范围,可以通过调整温度每上升的步数来设置。此外,一个附加的调节器允许用户设置热循环的最大时间限制。一旦扩散过程完成,TOKYO ELECTRON A 303 I的多种冷却选项允许快速、高效地冷却基板和材料。这包括通过风扇和通过外部再循环电路进行主动冷却。还提供了一个可选的盒式处理程序组件,便于在腔室之间转移基板。TOKYO ELECTRON A303i扩散炉及配件快速准确地扩散大型部件和材料。它具有多种可编程选项和自动化功能,使其成为用于扩散过程的高效且通用的工具,而其强大的设计确保每次都能获得可靠的结果。
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