二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9351450 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9351450
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Vertical diffusion furnaces, 12" 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是来自TEL的革命性扩散炉及配件包装,可用于广泛的应用。该套件包括一个高科技扩散炉和一个集成的TEL A303i控制器,用于精确控制温度和生长条件,以及操作所需的一系列附件。TOKYO ELECTRON A 303 I的最高处理温度为1050 °C,非常适合一些技术最先进的材料,例如半导体器件和介电膜。A303i扩散炉具有节省成本、高温控制和精确可重复性等优点。与TOKYO ELECTRON A303i扩散炉相关的成本节省可归因于其非常高效的加热元件,这些元件使用的功率可高达30千瓦,或电力和流动过程气体的组合。A 303 I扩散炉的功率分配是完全可定制的,可以针对不同尺寸的晶圆进行调整。通过使用TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I,用户可以确保其晶片均匀加热,无论其大小或形状如何。此外,TEL A 303 I扩散炉提供了高度精确的温度控制,这意味着所有用户都可以实现所需的晶体生长,而不必担心损坏样品。在可重复性方面,TEL/TOKYO ELECTRON A303i的可重复性精度小于± 0.2°C,确保实验的可重复性保持精确,这对于实现可重现的结果至关重要。此外,专利气体衬里系统通过提供均匀的气体流动,确保扩散过程中不发生灾难性事件,大大降低了操作过程中的安全风险。TEL A303i包还包括操作所需的几个附件。这些附件包括10升/分钟转速的真空泵,用于快速晶圆排空,高容量气体溷合阀,两个专用端口,带有用于排气的高流量阀,以及一个可选的气体串联阀,用于更高精度的气体流量。此外,每个系统都附有易于阅读的手册,有些甚至包括培训工具,以便用户熟悉TOKYO ELECTRON A 303I。A303i扩散炉和附件包非常适合那些寻求精确晶体生长和其他扩散过程的通用可靠系统的人。TOKYO ELECTRON A303i利用高效的加热元件、精确的温度控制、可重复性和全面的安全元件,是广泛应用的理想解决方桉。
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