二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358606 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种先进的扩散炉及附件，用于各种热处理应用。它提供高精度的温度控制，炉顶至炉底均匀温度范围为900 °C。它还提供了增强的分析功能、改进的可靠性和热均匀性,以及快速的响应时间。TEL A303i能够进行高达900 °C的热氧化，先进的热扩散，可用于退火和外延生长。该炉采用了一种高质量的强制空气冷却技术，可确保整个室内的温度分布得到优化，以实现均匀散热。空气温度可以逐步地或连续地设置为整个室内的不同值。这为所需的工艺创造了精确和均匀的温度条件，并产生了卓越的工艺质量。TOKYO ELECTRON A 303 I装有发电机和两个消声器。发电机实时发布详细的工艺信息，允许对氧化过程进行可靠的控制。此外，发电机有两种板载传感器和监测器，用于测量空气的流量以及加热元件的温度。这确保了精确的温度控制，大大提高了炉子的精度。TOKYO ELECTRON A303i还附带一个可选的自动晶圆传输设备，允许多达24个晶圆同时处理。该系统旨在通过控制每个晶片在时间控制操作过程中的轨迹和旋转来提供最佳和均匀的结果。这确保了可重现的结果,并进一步优化了流程。此外,A 303 I还通过集成密码保护的"开机"设备提供高数据安全性,从而防止未经授权的人员未经批准使用计算机。该炉还确保能耗低的不间断运行，设计目的是将总运行成本降至最低。总之，TEL/TOKYO ELECTRON A 303 I是提供高精度温度控制、增强分析功能、可靠运行、热均匀性、快速响应时间的先进扩散炉及配件。它适用于广泛的热处理应用，在能耗方面可节省成本。