二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9358719 待售

TEL / TOKYO ELECTRON A303i
ID: 9358719
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Vertical diffusion furnace, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种真空衍射炉和附件封装,设计用于各种工业和制造过程。TEL A303i作为一种单室真空炉,工作温度范围为100-2,000 °C,高载荷容量为Front: 40 kg,后部为60kg,冷却速度超快。控制器是带有12英寸彩色液晶触摸面板的PLC,可对多达64个程序进行手动或PC操作。嵌入式风扇扩散器和大容量真空室为内部环境带来了更加均匀的温度。TOKYO ELECTRON A 303 I的应用包括将Si和Al离子植入陶瓷基板、纤维碳化、零件回火、碳氮化、扩散涂层。它具有四种气体-入口系统,其中几种气体如N2、Ar、O2等可以独立供气。化学气相沉积(CVD)也可以通过引入一些共享组件。室内气体分布与离轴气体入口设计一致。它具有开阔的门设计,便于使用轻质材料交换负载。通过电机提升系统可以调节排气口角度,使排气操作正常.A 303 I内部的隔音结构减少了炉膛内外的噪音。它还有一个PC自动监控终端,在操作过程中发出/发出警告。A303i因其温度范围广、PLC控制器、多进气系统、气体分配均匀、门结构轻便、排气口调节系统、隔音结构,是各种制造和工业过程中必不可少的工具。除此之外,它还具有高度可靠的操作历史、低成本维护和安全法规合规性,从而提供安全高效的操作。
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