二手 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9400223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON A303i是一种最先进的扩散炉，设计用于卓越的温度均匀性和增强的过程控制。它提供临界温度坡道，精确的热处理和提高效率。它还配备了像高功率射频放大器这样的先进内部元件和创新的扩散器技术，使其适合批量和集群工具生产过程。TEL A303i具有多区域配置,具有大的加热室和两个可移动的加热区。它在腔室的不同部位实现了极好的均匀性。加热室可以达到高达1400 °C的温度，使其适合各种半导体制造过程，包括退火、干燥、驱动、氧化和氮化。该室还具有边缘绝缘以及强大的侧向加热，以确保高水平的过程可重复性。TOKYO ELECTRON A 303 I还增强了射频功率传递和控制，提高了晶圆对晶圆的均匀性。利用先进的射频匹配技术提供合适的功率束，避免射频对相邻晶片的干扰。这种革命性的控制设备还允许精确的温度修整和独立的区域加热。303 I还配有广泛的高级配件，如惰性大气流动系统、惰性气体单元、手套箱和LPCVD机。惰性大气工具可确保在高达1300 °C的温度下进行稳定的化学加工。惰性气体资产提供惰性大气，以尽量减少晶片上杂质的引入。手套箱将腔室与周围空气隔离，提高温度均匀性，防止氧化。最后，LPCVD模型为PECVD提供了更经济高效的替代方桉。TOKYO ELECTRON A303i是一种特性丰富的扩散炉，具有优异的重复性能和整体性能。其先进的内部元件和通用配件为半导体制造应用提供了完美的解决方桉。