二手 TEL / TOKYO ELECTRON A808SE #9350868 待售

ID: 9350868
晶圆大小: 8"
优质的: 2013
PI Bake furnaces, 8" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON A808SE是一种用于轻元素扩散和CZ生长的扩散炉及辅助设备。它是一个多层次的结构,旨在为用户提供最优的温度控制和均匀性。该系统采用最佳的平板均匀加热设计,用于精确的温度控制和生产硅片、IC、LED和光伏设备所需的均匀性。它还具有高精度全闭环控制单元和内置的氮气循环机,以获得最佳性能。此外,刀具地形还包括一个载荷锁,它有助于均匀分布半导体器件的温度和均匀性。TEL A808SE采用两级加热设备,以实现温度均匀性和快速的温度上下循环。该装置能够达到1250°C的温度,并配备了先进的高温计和PLC控制器,以及用于精确温度控制的热电偶传感器。由于反应元件快、反馈响应快,它具有1°C ±的高精度。此外,高可靠性冗余控制设备支持模型的高性能。工作站还包括一个用户友好的触摸屏显示面板,以及一个真空,陶瓷内饰易于操作,维护和清洁。TOKYO ELECTRON A808SE内置安全控制,以防止意外实验发生。该系统包括手动和自动温度控制模式,以及一个自动盖子控制单元,以防止在出现过度放热反应等问题时过度采样或过热。此外,该机还提供多种高科技功能,用于平稳的实验操作和详细的分析。A808SE具有多种特征和高温,是光元素扩散和CZ生长的理想工具。它为温度高达1250°C的高精度实验提供了快速反应和精确控制,是半导体生产的理想选择。
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