二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #293643329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是一种用于半导体器件制造等技术应用的扩散炉及配件。TEL Alpha 303C是一种高度可靠、功能强大的三区炉，可提供高达八英寸直径的基板的高速、精确处理。它支持各种扩散过程气体，温度可达1000摄氏度，最多可同时容纳四种底物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303C具有几项先进的技术，如针对温度均匀性优化的深冷区，为改善均匀性而缩小的温度范围，以及高温范围操作的双区区。双区区还通过允许从炉子两侧供水来提高冷水性能。TEL设计了Alpha 303C,以提供非常快的瞬态响应时间。此外，其先进的PID控制系统允许独立的加热调节，因此每种基板都经历完全相同的工艺条件。它的控制器还提供多级设定点温度保护和温度分布控制，从而减少整个基板的温度变化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C使用先进的质量流控制器，以确保工艺气体的最佳供应。这使得该过程能够以更快的速度进行,具有卓越的可重复性和高质量的结果。TEL Alpha 303C还配备了内置的自动调谐功能，使操作员能够调整设定点温度、上下区域之间的配电比以及其他参数，以考虑在严密温度控制必不可少的应用中改变工艺条件。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是一种强大、可靠和高度精确的扩散炉及其附件，非常适合各种射影装置的制造和技术应用。它提供了极佳的传播过程的精确度和可重复性，其用户友好的设置和先进的特性使其成为业界用户的极佳价值。