二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303C #9097223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C是由全球半导体制造设备领导者TEL（TOKYO ELECTRON）制造的先进扩散炉。TEL Alpha 303C具有独特的设计,使其成为需要精确控制关键流程步骤的芯片制造商的理想选择。该炉由一个双区0.7立方英尺加热室组成，高温极限为1250 °C。可选的等离子体氧化阶段可用于减少与ESD相关的工艺步骤。TOKYO ELECTRON ALPHA 303C包括多项功能,可在广泛的过程步骤中支持准确性和可重复性。它包含内置的流程控制器,用户无需手动干预即可设置和执行高效的预编程配方。此外，一个高速质量流控制器和一个集成的颗粒污染监测系统提供了良好的气体处理和室内清洁控制。Alpha 303C的额定最大压力为100 mbar，快速测序（FS）坡度速率为150°C/minute，使其适合多种材料工艺，包括快速热退火或晶体管活化。它还具有先进的前端安全功能，如压力联锁和电离器，以减少污染风险和损坏易受伤害的工艺部件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303C与几个TEL/TOKYO ELECTRON附件兼容，包括可配置的样品处理单元（SHU-3000）和晶圆传输系统如TEL-ATS系列0和1。这允许用户根据其特定应用程序自定义配置。TEL Alpha 303C是TOKYO ELECTRON致力于创新与品质的绝佳典范。它旨在提供优化的过程效率和准确性,同时通过健全的过程控制原则和包括前端安全功能来保持安全操作。因此，它是芯片制造商寻找可靠、精确的扩散炉的绝佳选择。