二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293812986 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal是一种紧凑、高性能的扩散炉，广泛应用于半导体加工。它旨在为薄膜沉积提供高达1150°C的高质量退火。它有一个全陶瓷炉膛，旨在提供均匀的加热和均匀退火多达5英寸晶圆的能力。该炉配有可编程逻辑控制器（PLC），以较高的精度和重复性控制温度和加热速率。它还具有内置的热墙设计，确保加热均匀，避免热点和氧化。退火工艺可以通过手动和自动温度控制来满足特定需求。TEL Alpha-303i Anneal还具有自动装载站和自动卸载站,以提高吞吐量和安全性。该炉的设计要求最低限度的维护和用户干预，还配备了多步编程和完整数据记录器等高级功能。TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal以其热墙设计，在较短的时间内证明了卓越的退火晶片，而不牺牲品质。它还提供可靠、节省时间的生产效率,在最高温度下污染的几率最小。是低温、高端工艺要求的完美选择。