二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #293818364 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal是一种自动扩散炉及附件。是一种先进的工业退火设备，用于薄膜沉积、退火等工艺。该系统具有温度控制先进、颗粒产量低、退火率高等多种特点。该Alpha-303i主要由一个炉子和一个供气装置组成，用于精确监测温度和流量。炉子上装有一个透明的石英管，用于退火的基材被放入其中。这种透明的石英管具有高的红外辐射透射，允许在腔内精确的温度测量和控制。石英管可以摄取高达1400摄氏度的温度。此外，石英管被包裹在不锈钢壁中，提供极好的环境辐射防护。该过程的适当气体由综合供气机供应。使用此工具可以根据工艺条件精确调整流量和压力。通过控制气体通量，在退火过程中可以避免膜的氧化和其他反应过程，从而保证了极好的热稳定性。该Alpha-303i还包括先进的自动温度控制技术。这使得退火过程中每个阶段都能进行精确的温度调整,从而实现精确的退火。此外，可以在不同的传热模式下自由调节炉子，以达到不同的退火要求。该技术为焊接多种材料提供了最佳退火温度控制.除了先进的温度控制，Alpha-303i还具有较低的颗粒生产能力。这种特性在需要低颗粒清洁度的退火装置时特别有用，因为颗粒物可以降低装置的产量。Alpha-303i采用连续闭合预防孔控制，使炉子中产生的颗粒最小化。最后,该Alpha-303i具有较高的退火速度能力.整个过程（包括退火）可以在几分钟内完成。数据记录资产可用于记录整个过程。模型可以通过其网络功能向用户提供反馈，让用户判断过程并改进控制设备。总之，TEL Alpha-303i退火是一种先进的扩散炉及其附件，具有精确的温度控制、低颗粒生产、高退火率等特点。是薄膜沉积等退火工艺的理想选择。