二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal #9253025 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-303i Anneal是一种最先进的扩散炉，旨在满足业界专业人士的需求。这种先进的熔炉利用惰性气体、高温退火操作和工艺控制器来监测和调节所有退火操作的温度，从而提供精确可靠的扩散。该设备具有高性能和准确的反馈设备,以保持一致的加热和冷却温度。这种反馈系统在执行复杂的过程时特别有用，包括快速热处理和脉冲退火。用户可以从广泛的参数中选择所需的退火温度和压力，内置的过程控制器会根据操作自动调整设置，以确保精度。除了精确的退火操作，Alpha-303i还提供耐用性和安全性。它由轻质导热铝构成，既能确保可靠性，又能降低过热和火灾风险。密封惰性气室还确保炉子没有可燃气体。附加的安全功能包括输入错误设置时触发的报警单元、防止腔室超压的气压安全阀以及保护设备免受温度波动影响的高级温度绝缘。该Alpha-303i能够达到高达1500摄氏度的温度，温度均匀度± 1%。此外，它还能够执行一些额外的操作，包括晶圆退火、外延沉积、掺杂稳定过程等等。这些操作可以用各种不同的周期时间完成，并且可以在控制器的7英寸触摸屏显示屏上观看。最后，Alpha-303i是完成了几个额外的，如工艺气体排气机，门联锁安全功能，和一个腔室水冷工具。此高级型号还支持手动和自动控制操作,用户可以利用各种设备配置来满足其特定需求。最终，TEL Alpha-303i Anneal是一种卓越的扩散炉资产，能够以高效可靠的方式完成各种退火作业。