二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097225 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一种用于先进半导体器件制造的扩散炉及辅助设备。这个最先进的系统包括一个装有高温多区加热室的水平炉和一个单室负载锁单元。它被设计用来加工直径达300毫米的硅、绝缘体上硅（SOI）和硅​​氢元（SiGe）晶片。该机具有先进的控制器和易于使用的触摸屏界面,可为种植者自动控制基本温度、加热速率、冷却速率、气流和压力水平。还包括一个高科技警报工具，用于在发生故障或意外情况时警告用户。炉子使用线性感应加热资产，利用线圈阵列在晶圆表面产生均匀的温度曲线，确保每个点的温度分布精确。加热和冷却参数可以调整到非常低和非常高的水平，允许退火和氧化等过程以非常高的精度和控制水平进行。炉内采用多区加热模型解决温度不均匀问题，可创建多达七个独立的温度区配置。该炉还配备了低热辐射和有源热管理模块，确保了高效的热性能。智能加湿器可减少冷凝并防止污染，进一步加强了这一过程。最后，TEL Alpha 303i-H配备了单一腔室锁载设备，最大限度地减少晶片对晶片的污染，并配备了复杂的气体环境监测系统，用户可以精确测量不同气体的浓度，确保扩散过程的最佳性能。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一个最先进的扩散炉和附件单元，为用户提供更高产量的半导体器件制造工艺所需的精度、精确度和控制。