二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097227 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097227
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
D-Poly furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉及配件是一种可靠高效的扩散炉设备,用于多种应用,包括晶圆、树脂和其他半导体材料的加工。TEL Alpha 303i-H配备了一系列功能,便于生产和系统维护。它有一个1000升容量的不锈钢建造的炉膛,允许长达60分钟的扩散时间。包括一个排气清洁装置,以确保大气清洁和减少危险排放。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H还支持一系列气体流动、调整和散装硬件,如热区和晶圆携带。Alpha 303i-H配备了先进的控制机器,可以精确控制温度,温度可达到1100 °C。操作员还将享有包括排气超载和清洗工具、内置备用电源和集成灭火资产在内的全方位安全功能。该模型还带有一个可自定义的用户界面,便于命令编程,以及实时温度控制和对设备和生产日志的访问。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉及配件可以处理包括标准晶圆、树脂和其他半导体元件在内的一系列元件。它还支持一系列标准工艺,如化学气相沉积(CVD)、扩散、氧化、氮化物沉积和退火。作为一种可靠、灵活的扩散炉系统,它以99.999%的成功率提供了高质量的效果。TEL Alpha 303i-H扩散炉还提供各种扩散器和其他附件,以提高吞吐量。可用的各种配件包括晶圆载体、热区、气流控制器等。这种可靠高效的硬件和配件的结合使得TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉非常适合各种生产需要。
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