二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一种先进的扩散炉，专门设计用于将热量均匀地分配到多种材料中。它是一种高温、单晶片扩散炉，旨在最大程度地提高工艺的均匀性和可重复性。TEL Alpha 303i-H具有精确的垂直轮廓和高效的扩散室加热、机械坚固和热可靠的加热系统以及自动的次大气气体面板。其垂直安装的精密炉和高效扩散室利用多种气体流动和对流，通过快速加热和冷却晶圆表面，确保了可靠的温度均匀性。该炉还配备了自动化的高性能气体溷合和次大气气体控制系统。这种扩散炉具有高速加热和冷却、均匀一致温度曲线的线性反作用室、计算机控制操作以及直观的触摸屏用户界面。其高效率的加热能力和精确的温度控制，允许对金属、多晶硅等多种材料进行等离子体沉积、蚀刻和植入处理。其他功能包括高温可编程轮廓功能、高达50°C/min的快速采样速率和0.2°C的温度均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H附有紧急关闭开关、排气系统、报警系统等一系列先进的安全机制。它还具有高度可配置性,因此可以针对各种不同的流程轻松快速地修改其设置,从而改善周期时间并节省成本。总体而言，Alpha 303i-H是一种先进的扩散炉，它提供高效和一致的热处理和高温性能，为各种热处理需求提供可靠和经济高效的解决方桉。