二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097235 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉及配件是一套为满足半导体工业最苛刻的要求而设计的先进工具和设备。该炉由一个最高工作温度为1250 °C，室顶温度为1100 °C的不锈钢室组成。它采用双壁结构设计，并配有可互换的衬里，便于维护和优异的效果。自动化控制设备和先进的过程控制技术提供了卓越的温度均匀性和快速循环时间。该装置还配有高精度气体控制、负载锁定晶片盒、TEL Lam分子束嵌入器，提供更好的过程控制。这种强大的组件组合确保了当今半导体器件开发的高度先进的解决方桉。TEL Alpha 303i-H炉具有先进的诊断和安全功能,使其能够与用户通信并提供有关系统操作的详细信息。这也有助于故障排除和维护,并为用户提供更高的控制级别。用户友好的图形界面可方便地访问设备参数,并有助于确保正确的机器操作。扩散炉还包括石英管加热器、自动温度/压力控制、钨电阻加热元件、排气工具和高性能双区气体质量流量控制器。这些附加组件为成功和高效的热管理过程提供了完整的软件包。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H资产提供了广泛的材料加工能力，包括为CU-BO表面精加工和氮化物工艺加工底物的能力。扩散炉可安装多台高密度/低漂移电动机，具有高精度和可重复性，具有变速控制和实时监测能力。Alpha 303i-H模型还包括一个内置气体盒，为目标基质上的气体分子均匀扩散创造一个密封的大气。这确保了气体在基板上的准确、可重复和低公差扩散。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H设备是当今复杂半导体器件生产工艺的智能解决方桉。其先进的设计、功能集和易用性相结合,为用户提供任何现代半导体器件生产环境的最佳解决方桉。