二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097236 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097236
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Nitride furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H,一种先进的热扩散炉,旨在制造出最先进的半导体晶片。这种扩散设备包括一个强大的风冷感应炉和一个石墨加热器,用于最高温度控制和精确处理。整个系统被封闭在不锈钢外壳中,确保安全和免受外界污染。TEL Alpha 303i-H还配备了一系列功能和组件,使扩散处理更加有效。其先进的光学单元在保持工艺室清洁的同时监控气流、温度和压力。先进的扩散炉技术包含在易于使用、直观、易于维护的包装中。炉子是模块化的,可以方便地安装额外的附件,比如火把、旋转服务员和晶圆载体。强大的炉子还采用低功耗设计,让你节省能源,最大限度地减少排放。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉还装载了一系列配件,包括二氧化碳大气传感器、稀释气体控制机、先进的工艺控制器和陶瓷桥。这些附件通过精确控制工艺室中的参数,有助于最大限度地提高产量。该工具上的石墨加热器包括具有自适应自调能力的多区控制资产,可确保出色的温度均匀性和控制性。石墨加热器还具有节油操作模式,可提供更高效、更经济的扩散处理解决方桉。Alpha 303i-H是一种功能强大的扩散炉,具有多种特性,使其成为市场上最好的系统之一。其先进的技术、直观的设计和内置的配件都使其成为半导体晶圆研究人员和技术专家的理想选择。
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