二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097237 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H
ID: 9097237
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
MTO Furnace, 12", 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉是一种高精度、多功能的热处理装置,用于对合适的材料进行退火。它是一种单室高密度感应加热设备,具有低功耗、高热效率和一致的热均匀性。该机具有直径为300 mm的单一加热空间,提供高度的温度均匀性,在750-1300°C的温度范围内工作。它有几个附件,包括喷射阀、废气监控器和鼓风机,以控制热环境,提高加工材料的质量。TEL Alpha 303i-H搭载了创新设计,将大容量真空系统与大型气体辅助排气单元相结合。真空机能够促进绝热和扩散过程,而气体辅助排气工具可以优化退火过程中的温度管理。该机器还具有若干先进的诊断功能,可用于全面的设备监控和诊断维护。该机还配备了一系列增强性能和控制的功能。这些功能包括高级电源控制、模块加热和冷却控制以及灵活的自动设置编程。先进的功率控制功能可实现精确的温度和压力控制,确保每个工艺步骤的最佳温度。模块加热和冷却控制进一步促进了加热和冷却过程,允许用户修改温度水平以适应正在处理的材料。此功能还可以减少能源浪费并提高生产吞吐量。最后,自动设置编程功能使自动操作能够更快、更一致地执行流程。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉还配有一套确保操作员和环境安全的安全功能。该机设计有内置高温限制器、超压安全开关以及提供额外安全措施的产气恒定监控功能。此外,完全隔离资产确保外层空间的绝对隔离,以防止氧化和消除潜在的危险排放。整体的阿尔法303i-H扩散炉是一个突出的设备,具有多种安全和性能特点。凭借其创新的设计、先进的运行功能和各种安全措施,该炉是业界专业人士的主导选择。
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