二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097239 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是市场上最先进的半导体晶圆加工扩散炉之一。这款四基炉设备融合了创新、先进的设计和可定制的设置，提供了高质量的晶圆和优越的晶圆均匀性。TEL Alpha 303i-H配备了多个负载端口和Obsidian逻辑控制，以自动监控和调节载荷区和卸载区的核心炉温度。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H的独特设计使加热器寿命延长，蒸气和气体纯度提高，晶圆均匀性提高，温度控制精确，基板装卸速度快、效率高。Alpha 303i-H采用独特的集成气体管理系统，可最大限度地提高纯度和气体使用效率。它具有先进的阀门和通风口，以减少排气损耗，可扩大的吹扫时间，可调节的流量和压力设置，以及一个封闭的腔室单元，以提高热均匀性。这台机器还包括真空开关、数据端口和有源水射流泵，以确保降低温度波动、更高的纯度和均匀性，以及在温度均匀性室中一致的蒸气暴露。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H配备了TEL PowerWaferII先进的晶圆传输工具，保证了基板的高精度装卸。这一资产允许每个端口进行单独操作，旨在最大程度地减少晶圆脱落和颗粒污染。PowerWaferII包括一个自动污染控制（ACC）模型和密封的垫圈子端口,以最大程度地减少层污染并确保最大的晶圆稳定性。TEL Alpha 303i-H还在TOKYO ELECTRON专有、用户友好的MGC-25平台上运行,突出了其灵活的编程功能。此平台允许自定义设置、预编程功能和自动化操作,允许用户快速配置、更改和监视扩散过程。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H扩散炉提供了先进的模块化设计、优化的气体管理设备、专有的PowerWaferII晶圆传输系统以及用户友好的MGC-25平台，以实现优越的晶圆均匀性和持久的性能。Alpha 303i-H是一种可靠可靠的扩散炉，适用于各种半导体晶圆加工应用。