二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H #9097240 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i-H是为超高纯度（UHP）半导体器件加工而设计的高性能垂直扩散炉及配件设备。该系统具有卓越的工艺性能和温度均匀性,温度范围从室温到1000 °C。此外,该单元可容纳8英寸以下的晶片。用于超低电阻率处理。该机采用载波Flow™技术,提供精确的温度均匀性控制.这项技术改进了对温度速率均匀性的控制，使晶圆处理具有较高的设备产量。该工具还包括对气体流量进行精确控制的滑行Elements™技术、均匀的护套壁以及对加热晶片的温和控制。这有助于防止晶片的横向位移，并确保晶片表面的均匀加热。资产还包括独特的加热元件和温度传感器配置，允许精确控制加热器功率和温度。此外，该模型还包括一个防止温度突然变化的专利温度补偿设备。这有助于确保整个时间以及整个晶片表面的最佳温度均匀性。TEL Alpha 303i-H还具有惰性气氛，适合一系列工艺操作。为确保超高纯度操作,系统配备了预处理和后处理烘烤以及获得专利的快速热退火解决方桉。这有助于确保高设备产量和稳健的过程操作。该单位还包括一个安全单位，帮助提供适当程度的保护，防止人员和设备受到伤害。安全单元兼具机电保护功能，包括联锁机等安全审批。此外，安全单元还包括一系列LED指标，进一步提升人员和设备的安全性。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-H是一种先进的扩散炉及辅助工具，提供卓越的加工能力、温度均匀性和晶圆加工产量。该资产专为UHP设备处理而设计,具有Carrier Flow™技术和Glide Elements™技术,以及获得专利的温度补偿模型和安全单元,非常适合用于可靠且经济高效的半导体设备制造。